Hoeveel weet u over siliciumnitride in siliciumnitridesubstraten?

Vandaag wil ik je voorstellensilicon nitridevanuit het prestatieaspect.

Over fysieke eigenschappen

Ten eerste de thermische eigenschappen van siliciumnitride. Het is een hittebestendig materiaal zonder smeltpunt. Het ontleedt bij ongeveer 1900 ℃ onder normale druk. Het heeft een sterke weerstand tegen kruip onder hoge druk. Het belastingverwekingspunt van reactief gesinterd siliciumnitride zonder bindmiddel kan oplopen tot 1800 ℃. Dan heeft het een goede thermische geleidbaarheid en een kleine thermische uitzettingscoëfficiënt. Het heeft ook een goede elektrische isolatie, een kleine diëlektrische constante en een hoge doorslagspanning.

Over chemische eigenschappen

Siliciumnitrideheeft een goede oxidatieweerstand en reageert niet met zuurstof in een droge atmosfeer onder de 800℃. Bovendien is het bestand tegen corrosie van gesmolten metaal, bevochtigt het de elementaire metaalsmelt (behalve koper) niet en is het niet gecorrodeerd. Een ander kenmerk is dat het gemakkelijk oplosbaar is in fluorwaterstofzuur en niet werkt met verdund zuur.

Over mechanische eigenschappen

Siliciumnitrideheeft een goede sterkte bij hoge temperaturen. De sterkte bij hoge temperatuur bij 1200°C neemt niet veel af vergeleken met de sterkte bij kamertemperatuur. Bovendien is de kruipsnelheid bij hoge temperaturen zeer laag. Deze worden allemaal bepaald door de aard van sterke covalente bindingen. Het heeft een hoge hardheid, die na enkele superharde materialen zoals diamant, kubieke BN, B4C, enz. overtreft. Het heeft ook een lage wrijvingscoëfficiënt en zelfsmerende eigenschappen, vergelijkbaar met het oppervlak van geolied metaal.

Het bovenstaande is de introductie van vandaagsiliciumnitrideuit de drie aspecten fysische eigenschappen, chemische eigenschappen en mechanische eigenschappen.